[发明专利]一种空气中硫化退火制备铜锌锡硫薄膜的方法有效

专利信息
申请号: 201910064971.5 申请日: 2019-01-23
公开(公告)号: CN109802011B 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 陈桂林;蔡慧玲;陈水源;黄志高 申请(专利权)人: 福建师范大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/032
代理公司: 福州君诚知识产权代理有限公司 35211 代理人: 戴雨君
地址: 350108 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开一种空气中硫化退火制备铜锌锡硫薄膜的方法。该方法是将CuO、ZnO和SnO2的混合浆料涂覆在清洗干净的玻璃衬底上,形成氧化物前驱膜;随后将氧化物前驱膜与硫粉在空气环境中密封在耐硫化反应的容器内;最后将密封后的容器放入管式炉或者马弗炉内,加热进行退火处理,得到所述的铜锌锡硫薄膜。本发明方法具有高温硫化退火工艺简单、制备设备便宜、硫粉原材料利用率高、绿色环保等优点,适用于大规模的工业生产。
搜索关键词: 一种 空气 硫化 退火 制备 铜锌锡硫 薄膜 方法
【主权项】:
1.一种空气中硫化退火制备铜锌锡硫薄膜的方法,其特征在于:其包括以下步骤1)将CuO、ZnO和SnO2的混合浆料涂覆在清洗干净的玻璃衬底上,形成氧化物前驱膜;2)将上述氧化物前驱膜与硫粉在空气环境中密封在耐硫化反应的容器内;3)将密封后的容器放入管式炉或者马弗炉内,加热进行退火处理,得到所述的铜锌锡硫薄膜。
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