[发明专利]一种宽束飞秒激光双脉冲制备亚波长金属光栅的方法在审
| 申请号： | 201910065822.0 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN111474616A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 郑昕;杨建军;郭春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种宽束飞秒激光双脉冲制备亚波长金属光栅的方法，飞秒激光光源输出加工光源，经过扩束、能量调节后进入双脉冲产生装置，双脉冲产生装置输出空间上共线传输、时间上延迟、偏振方向相互垂直的飞秒激光双脉冲，经过空间聚焦后照射到待加工金属表面制备亚波长金属光栅。该方法不但可以实现大面积亚波长金属光栅的高效可控制备，而且无需精密机械件、无掩膜、无化学腐蚀剂、加工环境宽松；整个制备过程简单易操作，并且因为是非接触式加工，可以有效避免应力对金属样品表面的二次破坏；采用该方法制备形成的表面结构在空间排列上更加规整和均匀，激光光斑照射范围大、制备效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 宽束飞秒 激光 脉冲 制备 波长 金属 光栅 方法 | ||
【主权项】：
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