[发明专利]具有微纳结构的全固态薄膜锂电池的制备方法

摘要

本发明提供了一种全固态薄膜锂电池的制备方法，包括：在第一衬底的表面制备第二衬底；在所述第二衬底背离所述第一衬底的表面上方放置掩膜板，光刻蚀处理使所述第二衬底背离所述第一衬底的表面呈微纳结构；在所述第二衬底的微纳结构表面溅射沉积保护材料，制备第一保护层；在所述第一保护层的表面制备阴极集流体；在所述阴极集流体的表面溅射制备电池阴极；在所述电池阴极的表面制备电解质层；在所述电解质层的表面制备电池阳极；在所述电池阳极的表面制备阳极集流体，形成固态电池单元；在所述固态电池单元的表面制备第二保护层；将得到的样品置于能够溶解光刻胶的有机溶剂中，清洗处理去除光刻胶材料，得到整体呈微纳结构的全固态薄膜锂电池。

主权项

1.一种全固态薄膜锂电池的制备方法，其特征在于，所述全固态薄膜锂电池具有微纳结构，且所述全固态薄膜锂电池的制备方法包括以下步骤：提供含硅的第一衬底，将所述第一衬底进行表面清洁处理；在所述第一衬底的至少一表面沉积光刻胶层，对所述光刻胶层进行干燥处理，制备得到第二衬底；在所述第二衬底背离所述第一衬底的表面上方放置掩膜板，对所述第二衬底进行光刻蚀处理，使所述第二衬底背离所述第一衬底的表面呈微纳结构；在所述第二衬底的微纳结构表面溅射沉积保护材料AlO_x，1≤x≤1.5，制备第一保护层；在所述第一保护层背离所述第二衬底的表面溅射沉积阴极集流体材料SrTiO_y，1≤y≤3，制备阴极集流体；在所述阴极集流体背离所述第二衬底的表面溅射沉积阴极材料LiNiO_z，1≤z≤2，制备电池阴极；在所述电池阴极背离所述阴极集流体的表面溅射沉积电解质材料LiLaTiO_m，1≤m≤3，制备电解质层；在所述电解质层背离所述阴极的表面蒸镀阳极材料金属锂，对所述阳极材料进行退火处理，制备电池阳极；在所述电池阳极背离所述电解质层的表面蒸镀阳极集流体材料金属铝，对所述阳极集流体材料进行退火处理，制备阳极集流体，形成固态电池单元；在所述固态电池单元除所述第一保护层的其他表面溅射保护材料溅射保护材料AlO_x，1≤x≤1.5，制备第二保护层；将得到的样品置于能够溶解光刻胶的有机溶剂中，清洗处理去除光刻胶材料，得到整体呈微纳结构的全固态薄膜锂电池。