[发明专利]一种基于超短脉冲激光的高效率且波长连续可调的极紫外光产生系统在审

专利信息
申请号: 201910066739.5 申请日: 2019-01-24
公开(公告)号: CN109638624A 公开(公告)日: 2019-04-16
发明(设计)人: 黎遥;倪志强;聂忠辉;涂鉴;赵亚飞;徐永兵;何亮;阮学忠 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: H01S3/109 分类号: H01S3/109;H01S3/108
代理公司: 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 代理人: 陈建和
地址: 210093 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种基于超短脉冲激光的高效率且波长连续可调的极紫外光产生系统,包括:所述超短脉冲激光器输出的基频光经过光学倍频器或者光学参量放大器进行波长转换,通过高次谐波产生仪将转换后的脉冲激光聚焦在惰性气体上辐射产生高次谐波,通过极紫外光单色仪进行波长选择,最终输出高能量及高光通量的单色极紫外光。本发明稳定性高,信噪比好,采用光学倍频器或光学参量放大器对超短脉冲基频光进行波长转换,并通过分光光栅、反射镜及多维调整结构从高次谐波谱中选择特定光子能量的高次谐波,实现高效率且波长连续可调,产生的高能量及高光通量极紫外光可用于时间分辨及角分辨光电子能谱系统和极紫外光相干衍射成像系统的研究。
搜索关键词: 极紫外光 高次谐波 连续可调 高效率 波长 光学参量放大器 超短脉冲激光 波长转换 产生系统 高光通量 倍频器 高能量 基频光 超短脉冲激光器 相干衍射成像 光电子能谱 波长选择 超短脉冲 多维调整 惰性气体 分光光栅 光子能量 脉冲激光 时间分辨 输出 单色仪 反射镜 角分辨 信噪比 可用 聚焦 辐射 转换 研究
【主权项】:
1.一种基于超短脉冲激光的高效率且波长连续可调的极紫外光产生系统,其特征在于,包括超短脉冲激光器(1)、高次谐波产生仪(3)以及极紫外光单色仪(4);其中,所述超短脉冲激光器(1)输出的基频光经过光学倍频器(2)或者光学参量放大器(5)进行波长转换,而后通过高次谐波产生仪(3)将转换后的脉冲激光聚焦在惰性气体上辐射产生高次谐波,并通过极紫外光单色仪(4)进行波长选择,最终输出高能量及高光通量的单色极紫外光。
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