[发明专利]微机电泵模块有效
| 申请号： | 201910067428.0 | 申请日： | 2019-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN111472964B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;李伟铭 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种微机电泵模块，包含微机电芯片、至少一信号电极、多个微机电泵、多个开关单元以及多个控制电极。微机电芯片具有长方形的芯片本体，芯片本体具有长边及短边。至少一信号电极设置于芯片本体并邻近短边。多个微机电泵皆具有第一电极与第二电极，第二电极电连接至少一信号电极。多个开关单元电连接多个微机电泵的第一电极。多个控制电极设置于芯片本体，并邻近长边且分别电连接多个开关单元。其中，至少一信号电极接收调变电压以传至多个微机电泵的第二电极，多个开关单元用以控制多个微机电泵启闭作动。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 模块 | ||
【主权项】：
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