[发明专利]一种电容式压力传感器及其制备方法有效
申请号: | 201910068807.1 | 申请日: | 2019-01-24 |
公开(公告)号: | CN109781312B | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 李阳;郭云建;牛闳森;岳文静;张春伟 | 申请(专利权)人: | 济南大学 |
主分类号: | G01L1/14 | 分类号: | G01L1/14 |
代理公司: | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人: | 郑平 |
地址: | 250022 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明属于电容式压力传感器技术领域,尤其涉及一种电容式压力传感器及其制备方法所述传感器包括:电极、离子凝胶介质层和导线;所述电极由表面设置有银纳米线层的基板构成;所述银纳米线层中埋设有延伸到银纳米线层外部的导线;所述离子凝胶介质层在所述顶部电极、底部电极上的银纳米线层表面均有设置;所述离子凝胶介质层的结构为:基底层表面分布有柱状的离子凝胶;所述离子凝胶介质层中的基底层设置在一电极的银纳米线层上,所述另一电极的银纳米线层设置在离子凝胶介质层中的柱状的离子凝胶上。本发明制备的传感器灵敏度高、迟滞小、可重复性好,可广泛应用于电子皮肤、可穿戴产品、植入设备及多功能传感器系统中。 | ||
搜索关键词: | 一种 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电容式压力传感器,其特征在于,所述传感器包括:电极,离子凝胶介质层,以及,导线;其中:所述电极由表面设置有银纳米线层的基板构成;所述银纳米线层中埋设有延伸到银纳米线层外部的导线;所述离子凝胶介质层在所述顶部电极、底部电极上的银纳米线层表面均有设置;所述离子凝胶介质层的结构为:基底层表面分布有柱状的离子凝胶,从而形成阵列结构的离子凝胶介质层,所述离子凝胶层由P(VDF‑HFP)聚合物和[EMI][TFSA]离子液体制成;所述电容式压力传感器的结构为:离子凝胶介质层中的基底层设置在一电极的银纳米线层上,所述另一电极的银纳米线层设置在离子凝胶介质层中的柱状的离子凝胶上。
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