[发明专利]一种基于微波干涉的微振动传感器和感测方法有效
| 申请号： | 201910070432.2 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN109883534B | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 王兵;张铁犁;葛萌;刘晓旭;张修建;张鹏程;高翌春 | 申请（专利权）人： | 北京航天计量测试技术研究所;中国运载火箭技术研究院 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 北京国之大铭知识产权代理事务所(普通合伙) 11565 | 代理人： | 张伟凤 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微波干涉的微振动传感器和感测方法，所述微振动传感器包括微悬臂梁、敏感质量块、微波谐振腔和读出电路，其中所述微悬臂梁安装在所述微波谐振腔的上方，所述敏感质量块固定连接在所述微悬臂梁顶部，所述微悬臂梁和敏感质量块感测所述被测物体的微振动并根据所述微振动发生微位移；所述微波谐振腔发射第一微波信号，并接收所述微悬臂梁和敏感质量块的微位移所反射的第二微波信号；所述读出电路提取所述第二微波信号并进行数据处理，根据所述微位移与所述被测物体的微振动加速度的比例关系进行计算并实现对所述被测物体的微振动加速度的测量。本发明公开的实施例能够有效提高微振动的测量灵敏度和准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微波 干涉 振动 传感器 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于微波干涉的微振动传感器，其特征在于，包括微悬臂梁、敏感质量块、微波谐振腔和读出电路，其中所述微悬臂梁安装在所述微波谐振腔的上方，所述敏感质量块固定连接在所述微悬臂梁顶部，所述微悬臂梁和敏感质量块感测所述被测物体的微振动并根据所述微振动发生微位移；所述微波谐振腔发射第一微波信号，并接收所述微悬臂梁和敏感质量块的微位移所反射的第二微波信号；所述读出电路提取所述第二微波信号并进行数据处理，根据所述微位移与所述被测物体的微振动加速度的比例关系进行计算并实现对所述被测物体的微振动加速度的测量。
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