[发明专利]一种异形曲面结构内部形貌的高精度测量系统和测量方法

摘要

本发明公开了一种异形曲面结构内部形貌的高精度测量系统和测量方法，所述测量系统包括生成超短飞秒脉冲并输出泵浦光和探测光的飞秒激光系统、经所述泵浦光激发生成太赫兹波并发射至被测物体的太赫兹波发射器、用于采样所述被测物体的外表面和内表面反射的太赫兹波脉冲太赫兹波探测器、时间延迟控制器、根据所述外表面和内表面反射的太赫兹波脉冲计算时间间隔的平衡探测器、根据所述时间间隔计算所述测试点的结构厚度的处理器，以及固定并带动所述被测物体沿水平方向移动的二维扫描平台，通过测量被测物体各个测试点的机构厚度，从而实现异形曲面结构内部形貌的非接触式测量，解决异形内形面和厚度分布测量的难题，具有广泛的实际应用价值。

主权项

1.一种异形曲面结构内部形貌的高精度测量系统，其特征在于，包括飞秒激光系统、太赫兹波发射器、太赫兹波探测器、时间延迟控制器、二维扫描平台、平衡探测器和处理器，其中所述飞秒激光系统，用于生成超短飞秒脉冲并输出泵浦光和探测光；所述太赫兹波发射器，被经所述时间延迟控制器延迟后的泵浦光激发生成太赫兹波，并发射至被测物体的一个测试点；所述太赫兹波探测器，采样从所述测试点的外表面和内表面反射的太赫兹波脉冲，并调制所述探测光；所述平衡探测器，接收所述调制后的探测光，获取所述太赫兹脉冲的适于波形，并计算所述外表面和内表面反射的太赫兹波脉冲的时间间隔；所述处理器，用于根据所述时间间隔计算所述测试点的结构厚度；所述二维扫描平台，用于固定并带动所述被测物体沿水平方向移动，以测量所述被测物体预设置的多个测试点。