[发明专利]一种非对称峰值掺杂结合梯度掺杂的黑磷场效应管在审
| 申请号： | 201910071910.1 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN109841689A | 公开（公告）日： | 2019-06-04 |
| 发明（设计）人： | 王伟;颜宇;魏凤华;丰媛媛 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/24;H01L29/10 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 刘渊 |
| 地址： | 210046 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种非对称峰值掺杂结合梯度掺杂的黑磷场效应管，包括与黑磷原子层平行的源极、漏极以及沟道，所述沟道从源极至漏极依次包括第一N型重掺杂区、第一梯度掺杂结构、峰值掺杂结构、本征黑磷、第二梯度掺杂结构和第二N型重掺杂区。本发明对黑磷场效应管的沟道进行峰值对称梯度掺杂，具有更大的阈值电压、更低的关态电流、更好的开关特性、更好的高频特性，表明该器件能更好的抑制漏致势垒降低效应，更低的亚阈区栅压摆幅，说明该器件拥有更优的栅控能力，能更好的抑制短沟道效应，梯度掺杂结构的引入，使得器件抑制热载流子效应的能力也增强。在较低的工作电压下，能够获得较大的驱动电流，并有望在数字电路中获得应用。 | ||
| 搜索关键词： | 梯度掺杂 黑磷 场效应管 掺杂 沟道 非对称 漏极 源极 漏致势垒降低效应 热载流子效应 短沟道效应 对称梯度 高频特性 工作电压 关态电流 开关特性 驱动电流 数字电路 阈值电压 原子层 摆幅 本征 亚阈 栅压 平行 引入 应用 | ||
【主权项】：
1.一种非对称峰值掺杂结合梯度掺杂的黑磷场效应管，包括与黑磷原子层平行的源极(VS)、漏极(VD)以及沟道，其特征在于，所述沟道从源极(VS)至漏极(VD)依次包括第一N型重掺杂区(3)、第一梯度掺杂结构(5)、峰值掺杂结构(4)、本征黑磷(6)、第二梯度掺杂结构(7)和第二N型重掺杂区(8)。
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