[发明专利]真空室气体引入系统在审
| 申请号： | 201910072353.5 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN111076087A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 邓曾红 | 申请（专利权）人： | 东泰高科装备科技有限公司 |
| 主分类号： | F17D1/02 | 分类号： | F17D1/02 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102209 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及真空室气体引入技术领域，公开了一种真空室气体引入系统，包括真空室侧壁、封盖和转接机构，所述转接机构包括转接本体，所述转接本体内部设有变向通道，所述变向通道的第一端口与所述真空室侧壁密封连接，所述变向通道的第二端口与所述封盖的内侧壁密封连接，所述第一端口与设置在所述真空室侧壁外侧的外部引入接头对接，所述第二端口与设置在所述封盖外侧的外部引出接头对接，所述外部引出接头与转接管路的一端连接，所述转接管路的另一端与所述腔体连通。简化了维护流程，缩短了维护时间，减小了维护工作量，提高维护效率，降低了气路泄露风险，同时可以实现多路气体的并行引入。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 气体 引入 系统 | ||
【主权项】：
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