[发明专利]用于光学薄膜光谱测量的使用环境模拟装置及测量方法有效

专利信息
申请号: 201910072640.6 申请日: 2019-01-25
公开(公告)号: CN109991179B 公开(公告)日: 2020-10-16
发明(设计)人: 孙建;李令灏;朱美萍;易葵;王建国;张伟丽;李静平;王胭脂;邵建达 申请(专利权)人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
主分类号: G01N21/31 分类号: G01N21/31;G01N21/01
代理公司: 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 代理人: 张宁展
地址: 201800 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 一种用于光学薄膜光谱测量的使用环境模拟装置及测量方法。该装置将光学薄膜样品置于装置腔室之中,并依据薄膜使用环境要求对腔室抽真空或充入不同种类的气体,同时监控装置内的温湿度,以实现对光学薄膜使用环境的模拟。将该装置与分光光度计配合使用,可以测量光学薄膜在所需使用环境状态下的光谱性能。本装置可利用商用分光光度计准确测量光学薄膜在不同使用环境、不同使用角度下的光谱,通用性强且使用方便。
搜索关键词: 用于 光学薄膜 光谱 测量 使用 环境模拟 装置 测量方法
【主权项】:
1.一种用于光学薄膜光谱测量的使用环境模拟装置,其特征在于包括:腔体(1)、腔盖(2)、入射光窗口(4)、出射光窗口(5)、通光口径调节器(6)、观察窗口(7)、角度调节旋钮(9)、手动气阀(10)、一号针阀(11)、二号针阀(12)、温湿度计(13)、角度盘(14)、样品盘(15)、供光学薄膜样品放置的样品架(16)、旋转台(17)、蜗轮(18)和蜗杆(19),上述各部件连接关系如下:所述的腔体(1)前后两侧开孔分别安装有所述的入射光窗口(4)和出射光窗口(5),所述的入射光窗口(4)和出射光窗口(5)内均设有通光口径调节器(6);所述的腔体(1)右侧开有两孔,分别安装二号针阀(12)和手动气阀(10),所述的手动气阀(10)上有抽气充气口用于连接抽气或充气设备,对腔体(1)内部进行抽真空或充气;所述的腔体(1)内部固定有角度盘(14),腔体(1)底部安装有旋转台(17),该旋转台(17)的下端通过蜗轮(18)与蜗杆(19)的一端相连,该蜗杆(19)的另一端连接角度调节旋钮(9),所述的旋转台(17)的上端伸至角度盘(14)内,与样品盘(15)相连,样品架(16)可固定在样品盘(15)上;所述的腔体(1)的上部设有腔盖(2),该腔盖(2)上设有观察窗口(7)、一号针阀(11),该腔盖(2)下方安装温湿度计(13)的探头,用于测量腔体(1)内的温度和湿度。
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