[发明专利]一种基于空腔填充型微结构光纤干涉仪的高精度温度探头

摘要

本发明公开了一种基于空腔填充型微结构光纤干涉仪的高精度温度探头，主要由光源、物镜、半透半反镜、光纤结构、探测器组成，其中光纤结构包含光纤纤芯、光纤包层、温敏腔室、反射涂层和反射涂层；光源发射出光透过物镜经过半透半反镜进入光纤纤芯，当光源到达温敏腔室的表面时，一部分光被反射到反射涂层再原路返回进入光纤纤芯；另一部分光直接进入温敏腔室，到达反射涂层后，再原路返回进入光纤纤芯，返回的两路光信号经过半透半反镜反射至探测器。本发明可应用于狭小空间、高腐蚀环境下的温度精准监测，并可以根据实际需要选择不同的敏感材料实现对不同参数的实时监测。

主权项

1.一种基于空腔填充型微结构光纤干涉仪的高精度温度探头，包括光源(1)、物镜(2)、半透半反镜(3)、光纤结构(4)和探测器(5)，其中光纤结构(4)包含光纤纤芯(6)、光纤包层(7)、温敏腔室(8)、反射涂层(9)和反射涂层(10)；光源(1)发射出光透过物镜(2)经过半透半反镜(3)进入光纤纤芯(6)，当光源到达温敏腔室(8)的表面时，一部分光被反射到反射涂层(5)再原路返回进入光纤纤芯(6)；另一部分光直接进入温敏腔室(8)，到达反射涂层(10)后，再原路返回进入光纤纤芯(6)，返回的两路光信号经过半透半反镜(3)反射至探测器(5)；所述的光源(1)的输出波长范围为1520‑1560nm；所述的探测器(5)的响应波长范围为1200‑2000nm；所述的光纤结构(4)的形状为圆柱形，直径为200微米，长度为10mm；所述的温敏腔室(8)为贯穿光纤的等腰直角三棱柱空心孔，直角边边长为150微米，内部填充的温敏材料为聚二甲基硅氧烷；所述的反射涂层(9)的材质均为金，厚度为10微米。