[发明专利]芯片生产用空压机的稳压方法、系统、装置及存储介质有效
申请号: | 201910073183.2 | 申请日: | 2019-01-25 |
公开(公告)号: | CN109578264B | 公开(公告)日: | 2020-10-27 |
发明(设计)人: | 崔超;林伟斌;匡晓云;杨祎巍;李舟;黄开天 | 申请(专利权)人: | 南方电网科学研究院有限责任公司;中国南方电网有限责任公司 |
主分类号: | F04B49/06 | 分类号: | F04B49/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 510663 广东省广州市萝岗区科*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请公开了一种芯片生产用空压机的稳压方法,包括:获取空气压缩机的稳态工况数据;根据稳态工况数据设定模糊控制器的模糊规则;获取储气罐压力和排气压力;将储气罐压力和排气压力输入模糊控制器,得到模糊控制器进行模糊推理后输出的变频控制信号;利用模糊控制器输出的变频控制信号控制空气压缩机的电机转速,以稳定储气罐压力。由于本发明利用模糊控制器,根据储气罐压力和排气压力对空气压缩机的电机转速进行变频控制,保证电机转速和排气压力符合模糊控制器的模糊规则,使储气罐压力更稳定,避免出现上下波动较大的情况,满足芯片生产所需的高质量气动生产环境。相应的,本申请还公开了一种芯片生产用空压机的稳压系统、装置及存储介质。 | ||
搜索关键词: | 芯片 生产 用空压机 稳压 方法 系统 装置 存储 介质 | ||
【主权项】:
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