[发明专利]一种大曲率半径球面光学元件自动化位姿调整方法与装置有效
| 申请号： | 201910074001.3 | 申请日： | 2019-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN110006921B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 杨甬英;曹频 | 申请（专利权）人： | 杭州晶耐科光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01;H04N23/67 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 朱月芬 |
| 地址： | 310027 浙江省杭州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大曲率半径球面光学元件自动化位姿调整方法与装置。本发明利用高倍显微镜对大曲率半径球面光学元件表面沿竖直和水平两条正交直径的四个边缘特征点分别进行对焦到离焦的连续多幅暗场灰度图像采集，计算图像Tenengrad算子值，拟合Tenengrad算子值与高倍显微镜轴向移动量曲线，依据图像Tenengrad算子极值判据搜寻正焦位置，获得各特征点空间坐标；通过建立特征点与调整装置空间数学模型，将四特征点空间坐标转换为俯仰和自旋两维调整量，进行位姿调整操作。本发明解决了大曲率半径球面光学元件在显微镜全口径扫描检测过程中出现的因光学元件光轴与显微镜光轴不平行以及球面光学元件矢高变化超出显微镜景深范围而造成的离焦问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曲率 半径 球面 光学 元件 自动化 调整 方法 装置 | ||
【主权项】：
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