[发明专利]激光蒸发多腔体纳米粉体制备装置在审
申请号: | 201910074778.X | 申请日: | 2019-01-25 |
公开(公告)号: | CN109759600A | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 黄昊;黄子岸;吴爱民 | 申请(专利权)人: | 大连理工大学 |
主分类号: | B22F9/12 | 分类号: | B22F9/12;C01B32/162;C01B32/159 |
代理公司: | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人: | 梅洪玉 |
地址: | 116024 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本发明涉及纳米粉体制备技术领域,具体是激光蒸发多腔体纳米粉体制备装置。设置至少两个主腔室粉体生成单元;各主腔室粉体生成单元分别通过各自真空支管道连接到真空主管道,真空主管道连接到真空泵组系统;各主腔室粉体生成单元分别通过各自排气支管道连接到排气主管道,各主腔室粉体生成单元分别通过各自进气支管道连接到进气主管道;各主腔室粉体生成单元分别通过各自激光控制信号线和各自送料控制信号线连接到激光发生器及控制系统。本发明避免了粉体制备过程中的相互污染,提高了粉体的纯度;实现多种不同成分粉体的同时制备;实现连续化生产;生产效率大大提高、成本降低。 | ||
搜索关键词: | 粉体 生成单元 主腔室 纳米粉体制备装置 真空主管道 激光蒸发 多腔体 支管道 激光控制信号 纳米粉体制备 激光发生器 进气支管道 进气主管道 控制信号线 连续化生产 排气主管道 粉体制备 控制系统 生产效率 真空泵组 排气 送料 制备 污染 | ||
【主权项】:
1.激光蒸发多腔体纳米粉体制备装置,其特征在于,设置至少两个主腔室粉体生成单元;各主腔室粉体生成单元分别通过各自真空支管道(14)连接到真空主管道(13),真空主管道连接到真空泵组系统(17);各主腔室粉体生成单元分别通过各自排气支管道(4)连接到排气主管道(2),各主腔室粉体生成单元分别通过各自进气支管道(7)连接到进气主管道(3);各主腔室粉体生成单元分别通过各自送料控制信号线连接到控制系统(1);所述主腔室粉体生成单元包括主腔室(9)、激光装置(6),所述主腔室顶部设置有激光装置,主腔室底部设置有收集室(18);所述阴极下方正对位置设置阳极(31),所述阳极后端设置自动送料装置(10)控制阳极送料,所述阳极前端设置冷却水装置以冷却阳极。
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