[发明专利]一种双加热电极宽量程风速传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201910078142.2 | 申请日： | 2019-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN109633197A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 赵文杰;徐丹;陈寅生;王天;李鹏飞 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨理工大学 |
| 主分类号： | G01P5/00 | 分类号： | G01P5/00;G01P13/02;G01K1/02;H05B3/00;H05B3/12 |
| 代理公司： | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 23109 | 代理人： | 高倩 |
| 地址： | 150080 黑龙*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种双加热电极宽量程风速传感器及其制造方法，用于提高检测灵敏度和速率，属于风速传感器领域。本发明包括：加热器电极位于八边形衬底的中心，加热器电极由双加热器围成中心为方形盘绕式结构和四个引用电极组成，四个引用电极分别从方形盘绕式结构的四个角引出，且每个引用电极的宽度逐渐变宽；每个温度探测器电极为对称结构，包括扇形本体及该本体边缘引出并延伸至八边形衬底边缘的两个探测电极，四个温度探测器电极分布在加热器电极周围的八边形衬底上，加热器电极的每相邻两个引出电极之间设置一个温度探测器电极；在每个温度探测器电极与加热器电极之间的八边形衬底上设置一个热隔离槽。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 加热器电极 温度探测器 八边形 风速传感器 衬底 盘绕式结构 引用 宽量程 双加热 检测灵敏度 衬底边缘 电极分布 电极组成 对称结构 热隔离槽 扇形本体 双加热器 探测电极 引出电极 逐渐变宽 制造 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种双加热电极宽量程风速传感器，包括八边形衬底(1)、四个温度探测器电极(3)、加热器电极(4)和四个热隔离槽(5)，其特征在于，所述加热器电极(4)位于八边形衬底(1)的中心，加热器电极(4)由双加热器围成中心为方形盘绕式结构和四个引用电极组成，所述四个引用电极分别从所述方形盘绕式结构的四个角引出，延伸至八边形衬底(1)的边缘，且每个引用电极的宽度逐渐变宽，四个引出电极呈十字交叉；每个温度探测器电极(3)为对称结构，包括扇形本体及该本体边缘引出并延伸至八边形衬底(1)边缘的两个探测电极，四个温度探测器电极(3)分布在加热器电极(4)周围的八边形衬底(1)上，加热器电极(4)的每相邻两个引出电极之间设置一个温度探测器电极(3)；在每个温度探测器电极(3)与加热器电极(4)之间的八边形衬底(1)上设置一个热隔离槽(5)。
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