[发明专利]压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置

摘要

本发明提供一种压电器件、液体喷射头以及液体喷射装置。压电器件具备：基板，其形成有多个第一凹部；振动板，其被设置于基板的一面侧；压电元件，其具有隔着振动板而被设置于基板的一面侧的第一电极、被设置于第一电极上的压电体层和被设置于压电体层上的第二电极，在压电元件中，压电体层的由第一电极与第二电极夹持的活性部针对每个第一凹部独立设置，第一电极构成针对各活性部而独立设置的独立电极，第二电极构成由多个活性部共用设置的共用电极，在压电体层上设置有第二凹部，第二凹部被设置于活性部的外侧且向与基板的相反侧开口，在基板与压电元件的层压方向上，振动板在至少与第二凹部的底面重叠的区域的第二电极侧的最上层具有氮化膜。

主权项

1.一种压电器件，其特征在于，具备：基板，其形成有多个第一凹部；振动板，其被设置在所述基板的一面侧；以及压电元件，其具有第一电极、压电体层和第二电极，所述第一电极隔着所述振动板而被设置在所述基板的一面侧，所述压电体层被设置在所述第一电极上，所述第二电极被设置在所述压电体层上，在所述压电元件中，所述压电体层的由所述第一电极与所述第二电极夹持的活性部针对每个所述第一凹部而独立设置，所述第一电极构成针对各个所述活性部而独立设置的独立电极，所述第二电极构成由多个所述活性部所共用设置的共用电极，在所述压电体层上设置有第二凹部，所述第二凹部被设置于所述活性部的外侧，且向与所述基板的相反侧开口，在所述基板与所述压电元件的层压方向上，所述振动板在至少与所述第二凹部的底面重叠的区域的所述第二电极侧的最上层具有氮化膜。