[发明专利]一种基于原子层沉积技术的泡沫铜制备方法

摘要

本发明公开了一种基于原子层沉积技术的泡沫铜制备方法，首先在多孔聚氨酯模板上进行原子层沉积，先后脉冲入铜源前驱体1和还原性前驱体2，得到表面均匀包覆铜薄膜的三聚氰胺泡沫，然后将上述包覆铜薄膜的三聚氰胺泡沫在高温下除去模板，得到Cu泡沫，本发明利用原子层沉积的保形性，得到的泡沫铜完全复制了有机模板的结构，且通过调节原子层沉积的次数，可以精确控制铜膜的厚度，进而实现对泡沫铜力学性质，孔隙率，传热特性等的调控，使得泡沫铜的耐久性及抗氧化性明显高于普通技术制备的铜泡沫，具有广泛应用前景。