[发明专利]一种实用的扩散炉压力传感器保护系统在审
| 申请号： | 201910079774.0 | 申请日： | 2019-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN109654899A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | 雷小龙;李宝飞;吕飞;李富林;李龙 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（成都）有限公司 |
| 主分类号： | F27D21/00 | 分类号： | F27D21/00;F27D7/06;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 蒋秀清 |
| 地址： | 610299 四川省成都市双流*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种实用的扩散炉压力传感器保护系统，属于光伏设备生产技术领域，目的在于解决现有工艺产生的酸性尾气易对压力传感器电气结构造成腐蚀损坏，导致的生产过程出现异常停机的问题。其包括压力传感器和压力传感器下部的检测腔室，还设置有T型管道，T型管道的竖管段的上端与检测腔室下端的开口处连通，T型管道的竖管段的下端开设有真空检测口，T型管道的横管段内开设有氮气进气通道，T型管道的竖管段内设置有氮气进气管，氮气进气管的一端伸入检测腔室内，氮气进气管的另一端与氮气进气通道连通，T型管道的横管段上还安装有气动阀。本发明适用于扩散炉压力传感器保护。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 氮气进气管 检测腔 扩散炉 管段 氮气 进气通道 横管段 连通 真空检测口 电气结构 光伏设备 生产过程 生产技术 酸性尾气 上端 开口处 气动阀 内开 伸入 停机 下端 腐蚀 室内 | ||
【主权项】：
1.一种实用的扩散炉压力传感器保护系统，其特征在于，包括压力传感器(2)和压力传感器(2)下部的检测腔室(1)，还设置有T型管道(3)，所述T型管道(3)的竖管段(31)的上端与检测腔室(1)下端的开口处连通，所述T型管道(3)的竖管段(31)的下端开设有真空检测口(4)，所述T型管道(3)的横管段(32)内开设有氮气进气通道(5)，所述T型管道(3)的竖管段(31)内设置有氮气进气管(6)，所述氮气进气管(6)的一端穿过检测腔室(1)下端的开口处并伸入检测腔室(1)内，所述氮气进气管(6)的另一端与氮气进气通道(5)连通，所述T型管道(3)的横管段(32)上还安装有用于控制氮气进气通道(5)开闭的气动阀。
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