[发明专利]一种测量物体内部缺陷尺寸的方法

摘要

本发明提供一种测量物体内部缺陷尺寸的方法，包括：对样品进行检测后重建并得到内部缺陷的影像；在内部缺陷需要测量尺寸的方向上，以使线段的一端位于样品的外部、另一端位于内部缺陷内的形式画直线，其中线段上，位于内部缺陷内的一端为缺陷端，另一端为样品端；调取线段的延伸方向上的灰度值曲线，分别获取灰度值G2、G0和G1；当G2为峰值时，计算得到G3=G2‑|G2‑G1|×10%，当G2为谷值时，计算得到G3=G2+|G2‑G1|×10%；在灰度值曲线的波峰或波谷附近，选取灰度值为G3的两点，此时两点之间显示的尺寸为内部缺陷的实际尺寸。根据本发明，能实现对细小缺陷尺寸的精确测量，具有灵敏度高，数据可靠等特点，误差通常不超过一个像素的尺寸。

主权项

1.一种测量物体内部缺陷尺寸的方法，包括：采用面板探测器通过工业CT无损检测方法对样品进行检测后，由计算机重建并得到所述样品的内部缺陷的影像；确定所述内部缺陷所在位置后通过计算机软件的图像测量工具，在所述内部缺陷需要测量尺寸的方向上，以使线段的一端位于所述样品的外部、另一端位于所述内部缺陷内的形式画直线，其中所述线段上，位于所述内部缺陷内的一端为缺陷端，另一端为样品端；调取所述线段的延伸方向上的灰度值曲线，将所述缺陷端对应的波峰或波谷的灰度值选作G2，此时所述样品端对应的灰度值为G0；沿所述线段的延伸方向将所述样品端从所述样品的外部移动至内部，并且使所述样品端对应的灰度值位于临近所述波峰或所述波谷而波幅平稳的区域内，此时所述样品端对应的灰度值为G1；当G2为峰值时，计算得到G3=G2‑|G2‑G1|×10%，当G2为谷值时，计算得到G3=G2+|G2‑G1|×10%；在所述灰度值曲线的所述波峰或所述波谷附近，选取灰度值为G3的两点，此时两点之间显示的尺寸为所述内部缺陷的实际尺寸。