[发明专利]一种适用于超大规模原子层沉积的气体匀流系统

摘要

本发明公开一种适用于超大规模原子层沉积的气体匀流系统，包括通入前驱体气体的流通管道，该流通管道的进气端端面上开设有若干进气孔，出气端端面分隔为数量与进气孔数量相匹配的出气孔，流通管道的内腔分隔为数量与出气孔数量一致的独立流道；每个出气孔与相对应的一个或多个进气孔通过位于流通管道内的对应独立流道相连通，各独立流道呈“喇叭状”，由进气孔侧向出气孔侧，内径逐渐增大。本发明中在流通管道内设置多个独立流道，出气孔与相对应的出气孔通过位于流通管道内的对应独立流道相连通，每种前驱体气体从进气孔进入独立流道，经过各独立流道到达出气孔，前驱气体流出装置时已布满整个平面，匀流效果更好。

主权项

1.一种适用于超大规模原子层沉积的气体匀流系统，包括通入前驱体气体的流通管道，其特征在于，该流通管道的进气端端面上开设有若干进气孔，出气端端面分隔为数量与进气孔数量相匹配的出气孔，流通管道的内腔分隔为数量与出气孔数量一致的独立流道；每个出气孔与相对应的一个或多个进气孔通过位于流通管道内的对应独立流道相连通，各独立流道呈“喇叭状”，由进气孔侧向出气孔侧，内径逐渐增大。