[发明专利]一种基于金反射层结合微透镜的确定性量子光源器件及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种基于金反射层结合微透镜的确定性量子光源器件及其制备方法和应用。所述确定性量子光源器件由下至上依次为反射层金、SiO2层和微透镜阵列；其中量子点在微透镜中。所述确定性量子光源器件中微透镜的底端圆截面直径为200nm～3μm，并以金作为反射镜，结合微透镜大大提高荧光提取效率与带宽，当NA=1时，荧光提取效率高达90%，带宽可达100nm；在电泵浦高速发射量子点单光子源以及与压电陶瓷键合产生高效率级联发射纠缠光子对等方面具有极大的潜在应用价值；在制备方法中，利用加热电子胶的方法实现金反射层上微透镜掩膜的制作，同时通过对荧光成像定位和高精度电子束曝光套刻实现单个量子点与GaAs微透镜的确定性耦合，方法灵活、简单，可大面积制备。

主权项

1.一种基于金反射层结合微透镜的确定性量子光源器件，其特征在于，由下至上依次为反射层金、SiO₂层和包含有一个量子点的微透镜阵列；其中量子点在微透镜中。