[发明专利]一种合金钢基体上溅射Ta涂层的化学去除方法有效
| 申请号： | 201910084262.3 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN109576709B | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 牛云松;朱圣龙;王福会;陈明辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所;东北大学 |
| 主分类号： | C23F1/38 | 分类号： | C23F1/38 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 于晓波 |
| 地址： | 110016 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： |
一种合金钢表面溅射Ta涂层的化学去除方法，属于Ta涂层的去除技术领域。化学去除液的配方为：NaOH：400～500g/L，NaNO |
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| 搜索关键词： | 一种 合金钢 基体 溅射 ta 涂层 化学 去除 方法 | ||
【主权项】：
1.一种合金钢基体上溅射Ta涂层的化学去除方法，其特征在于：该方法是采用化学去除液除去合金钢基体上溅射的Ta涂层，所述化学去除液的组成如下：![]()
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