[发明专利]负压下高速冲液精密电铸装置及方法

摘要

本发明公开了一种负压条件下高速冲液精密电铸的装置及其方法,属于精密电铸技术领域。本发明包括电铸模块、加热模块、循环及过滤模块、储液模块及抽负压模块。所述电铸模块、循环及过滤模块、储液模块通过管道连接。所述加热模块用于加热电铸模块内电铸液，抽负压模块用于保持电铸模块处于负压状态。使用本装置不仅可用于常压下高速冲液电铸，还可以实现负压条件下循环加热溶液并冲液电铸，有利于提高高深宽比结构的传质速率和气泡排出速率，从而提高微细电铸质量。

主权项

1.一种负压下高速冲液精密电铸装置，该装置包括电铸模块，电铸模块包括电铸加工槽(12)、阴极板(20)、阳极板(21)；电铸加工槽(12) 下端设置主出口，一侧上方设置有主入口，另一侧上方上方设置辅助入口、下方设置辅助出口；该装置还包括储液模块，储液模块其包括密闭的储液槽(1)及位于槽体上的液面高度计(19)；储液槽一侧下方设置主出口，上方设置有主入口和辅助入口；所述电铸模块和储液模块通过第一循环及过滤模块相连接；第一循环及过滤模块包括第一过滤器(2)、第一磁力旋片泵(3)、溢流球阀(4)、第一真空球阀(5)、第二真空球阀(18)；所述储液槽(1）位于电铸加工槽(12）下方；储液槽(1）的主出口经过所述第一过滤器(2)与所述第一磁力旋片泵(3）入口相连，所述第一磁力旋片泵(3）出口分成两路，第一路经过所述第一真空球阀（5）与电铸加工槽(12）上方的主入口相连；第二路经过所述溢流球阀（4）与储液槽(1)辅助入口相连；电铸加工槽(12）下方的主出口经过第二真空球阀（18）与储液槽(1）主入口相连；还包括加热模块，加热模块与电铸模块相连；还包括抽负压模块，所述抽负压模块与电铸模块相连；包括真空泵(6)和气体干燥器(7)；所述电铸加工槽(12)还安装有泄压阀(9)和压力表(10)；上述真空泵及压力表还连接有用于控制所述真空泵(6)在电铸加工槽(12)内压力高于设定压力时启动，低于设定压力时停止的压力控制装置；其特征在于：该装置还包括第二循环及过滤模块，第二循环及过滤模块包括缓冲槽(14)、第二磁力旋片泵(16)、第二过滤器(17)、第三真空球阀(13)、第四真空球阀(15)；上述电铸加工槽(12)的辅助出口依次经过所述第二过滤器(17)、所述第二磁力旋片泵(16)、第四真空球阀(15)后与所述缓冲槽(14)的入口相连；缓冲槽(14)的出口经过所述第三真空球阀(13)与电铸加工槽(12)的辅助入口相连；所述电铸加工槽(12)内与辅助出口直接相通部分容积大于所述第二循环及过滤模块容积之和；所述电铸加工槽（12）内电铸液的体积应满足如下条件：所述第二循环及过滤模块内充满液体后，电铸加工槽(12)内电铸液的体积大于第二磁力循环泵(16)入口及电铸加工槽(12)辅助出口相连部分的容积。