[发明专利]一种反极性AlGaInP红光LED管芯结构及其制作方法有效
| 申请号： | 201910086331.4 | 申请日： | 2019-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN111490136B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 徐晓强;张兆喜;吴向龙;闫宝华;王成新 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/06 | 分类号： | H01L33/06;H01L33/40;H01L33/46;H01L33/30;H01L33/00 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 许德山 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种反极性AlGaInP红光LED管芯结构及其制作方法，属于半导体加工技术领域，包括以下具体步骤：(1)晶片键合；(2)衬底去除；(3)扩展电极制作；(4)粗化层制作；(5)ITO粘附层制作；(6)主电极制作；(7)保护层制作；(8)管芯制作。本发明通过薄ITO膜层的制作，增强了金属主电极与ITO之间的粘附牢固度，实现了焊线良率的大幅度提升，通过薄ITO+SiO2膜层的制作，降低了界面全反射，增加了管芯出光效率，整个制作过程原理简单，使用工艺方法简便；通过本发明方法制作出的管芯，整体质量稳定，良率较高，整体稳定性好，本方法适用于所有反极性AlGaInP基红光LED芯片的制作工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 极性 algainp 红光 led 管芯 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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