[发明专利]一种预吹洗式晶圆探针台

摘要

本发明涉及晶圆探针台，公开了一种预吹洗式晶圆探针台，其技术方案要点是包括检测台和设置在检测台一侧的机箱，机箱背离检测台的一侧连通有密封的吹洗仓，吹洗仓的底部设有滑移轨道，滑移轨道的一端转动连接有从动带轮，一端转动连接有主动带轮，主动带轮和从动带轮之间连接有传送皮带，主动带轮连接有驱动电机，滑移轨道上滑移连接有支撑板，支撑板连接于传送皮带，支撑板上设有推进气缸，吹洗仓远离机箱的腔室内设有喷淋环组，在地面上设有用于存储晶圆清洗气体的高压存储罐，高压存储罐与喷淋环组之间连通有输送管道，输送管道上连接有启闭阀。本发明具有在进行检测前，对晶圆进行吹洗，以此提高晶圆检测数据的准确性的优点。

主权项

1.一种预吹洗式晶圆探针台，包括检测台(1)和设置在检测台(1)一侧的机箱(2)，其特征在于：所述机箱(2)背离检测台(1)的一侧连通有密封的吹洗仓(3)，所述吹洗仓(3)的底部设有滑移轨道(31)，所述滑移轨道(31)朝向机箱(2)的一端转动连接有从动带轮，所述滑移轨道(31)远离机箱(2)的一端转动连接有主动带轮，所述主动带轮和从动带轮之间连接有传送皮带，所述主动带轮连接有驱动电机(32)，所述滑移轨道(31)上滑移连接有支撑板(33)，所述支撑板(33)下方经过螺栓连接于传送皮带，所述支撑板(33)上设有推进气缸(4)，所述推进气缸(4)的伸缩杆朝向机箱(2)，所述吹洗仓(3)远离机箱(2)的一端开有放料口(34)，所述放料口(34)上铰接有封闭门(341)，所述吹洗仓(3)远离机箱(2)的腔室内设有喷淋环组(6)，所述喷淋环组(6)固定连接在吹洗仓(3)内侧壁的顶部，在地面上设有用于存储晶圆清洗气体的高压存储罐(7)，所述高压存储罐(7)与喷淋环组(6)之间连通有输送管道(71)，所述输送管道(71)上连接有启闭阀。