[发明专利]镀膜方法及镀膜装置有效
| 申请号： | 201910089377.1 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN109652761B | 公开（公告）日： | 2021-01-26 |
| 发明（设计）人： | 郑建升 | 申请（专利权）人： | 惠科股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/34;C23C14/14 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 李文渊 |
| 地址： | 518101 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种镀膜方法及镀膜装置，其中镀膜方法包括：准备一带电的掩膜版和一金属靶材；将基板放置在所述掩膜版和所述金属靶材之间；使所述金属靶材中的金属离子在电场力的作用下吸附在所述基板上，并形成膜层。本发明的步骤简单且易于操作，利用掩膜版与金属靶材之间的电场力，将金属靶材中的金属离子吸附在基板上形成所需的膜层，节省了涂布、曝光、显影、蚀刻以及剥膜等步骤，提高了基板的生产效率，节约了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜方法，其特征在于，包括：准备一带电的掩膜版和一金属靶材；将基板放置在所述掩膜版和所述金属靶材之间；使所述金属靶材中的金属离子在电场力的作用下吸附在所述基板上，并在所述基板上形成膜层。
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