[发明专利]使用静电吸附的搬运装置和使用静电吸附的搬运方法

摘要

本发明提供使用静电吸附的搬运装置和使用静电吸附的搬运方法。静电吸附搬运装置构成为包含静电卡盘，该静电卡盘通过静电吸附吸来附作为搬运部件的被加工物并将其载置在载置面上，在经由上述静电卡盘的受电电极从电源的供电面受电之后，经由接地电极通过地线接地，由此在静电平衡已破坏的状态下，通过静电吸附来吸附被加工物并将其载置在载置面上。

主权项

1.一种使用静电吸附的搬运装置，其特征在于，包括：静电卡盘，其构成为：在载置面配置有静电电极，在与所述载置面不同的面配置有受电电极和接地电极，通过静电吸附对搬运部件进行吸附而将所述搬运部件载置在所述载置面上；输送机，其构成为使所述静电卡盘移动；电源，其具有供电面，该供电面构成为：在所述静电卡盘在所述输送机上移动时，所述供电面与所述受电电极接触，由此对所述静电电极施加电压；地线，其构成为：在所述静电卡盘在所述输送机上移动时，所述地线与所述接地电极接触，由此将所述静电卡盘接地；以及搭载装置，其构成为将所述搬运部件搭载在所述载置面上，其中，所述供电面与所述受电电极开始接触的供电开始位置设置于比由所述搭载装置向所述载置面上搭载所述搬运部件的搭载位置靠上游的位置，所述地线与所述接地电极开始接触的接地开始位置设置于比所述供电开始位置靠下游的位置，所述地线与所述接地电极结束接触的接地结束位置设置于比所述供电面与所述受电电极结束接触的供电结束位置靠上游的位置，所述静电卡盘构成为：所述静电卡盘在经由所述受电电极从所述供电面受电之后，经由所述接地电极通过所述地线接地，所述静电卡盘在静电平衡已破坏的状态下，通过静电吸附对所述搬运部件进行吸附而将所述搬运部件载置在所述载置面上。