[发明专利]用于CVD设备的双轴正交旋转系统及方法

摘要

本发明一种用于CVD设备的双轴正交旋转系统，包括CVD沉积炉炉体、石墨保温管、加热体、旋转轴、套筒、构件夹具和旋转动力装置；三个所述旋转动力装置分别通过三个所述旋转轴与设置于所述CVD沉积炉炉体内的所述构件夹具连接；所述旋转动力装置用于给整个系统提供动力，并控制所述旋转轴的旋转速度和伸缩位置，进一步控制所述构件夹具绕X轴旋转或绕Z轴旋转；在不同的沉积阶段采用不同的旋转方向，可以对复杂形状构件的沉积不足之处进行更大程度的补偿。采用不同的旋转速度，可以改善构件周围气体相对于构件的流速分布状态，使相对流动速度分布最有利于获得均匀沉积。