[发明专利]两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台有效
申请号: | 201910091969.7 | 申请日: | 2019-01-30 |
公开(公告)号: | CN109879243B | 公开(公告)日: | 2020-12-08 |
发明(设计)人: | 崔玉国;张圣贤;杨依领;娄军强;惠相君;周鹏飞 | 申请(专利权)人: | 宁波大学 |
主分类号: | B81C99/00 | 分类号: | B81C99/00 |
代理公司: | 宁波市天晟知识产权代理有限公司 33219 | 代理人: | 王美荣;黄晓凡 |
地址: | 315211 浙江省宁波市江北*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,包括动台面,动台面下方间隙设有定台体,定台体内间隙设有动台体,动台体和动台面之间螺固有第一螺钉;动台体包括沿自身逆时针方向顺次垂直设置的第一边缘、第二边缘、第三边缘和第四边缘;定台体设有伸缩作用于第一边缘的第一驱动单元,伸缩作用于第二边缘的第二驱动单元和第三驱动单元,朝向第三边缘的第一传感器组件,朝向第四边缘的第二传感器组件和第三传感器组件;通过对第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元的电压控制的协调控制能实现动台面的两平动及一转动。本发明的优点是结构简单紧凑、工作台面大、大行程、无寄生位移、固有频率高、便于集成电容式位移传感器。 | ||
搜索关键词: | 平动 转动 行程 耦合 中空 并联 压电 微动 平台 | ||
【主权项】:
1.两平动一转动大行程无耦合大中空并联压电微动平台,包括用作承载物体的动台面(1),其特征是:所述的动台面(1)的下方间隙设有定台体(2),所述的定台体(2)内间隙设有动台体(4),所述的动台体(4)和所述的动台面(1)之间螺固有第一螺钉(11);所述的动台体(4)包括沿自身逆时针方向顺次垂直设置的第一边缘(41)、第二边缘(42)、第三边缘(43)和第四边缘(44);所述的定台体(2)与所述的第一边缘(41)之间连有能弹性形变的第一导向单元(101);所述的定台体(2)与所述的第二边缘(42)之间分别连有能弹性形变的第二导向单元(102)和第三导向单元(103);所述的定台体(2)与所述的第三边缘(41)之间连有能弹性形变的第四导向单元(104);所述的定台体(2)与所述的第四边缘(41)之间分别连有能弹性形变的第五导向单元(105)和第六导向单元(106);所述的第一导向单元(101)内设有能向动台体(4)方向伸缩的第一驱动单元(51),所述的第二导向单元(102)内设有能向动台体(4)方向伸缩的第二驱动单元(52),所述的第三导向单元(103)内设有能向动台体(4)方向伸缩的第三驱动单元(53)。
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