[发明专利]利用超快激光进行透明材料三维结构的加工装置和加工方法在审
| 申请号： | 201910092353.1 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN111496397A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 程亚;储蔚;王鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B23K26/53 | 分类号： | B23K26/53;B23K26/064;B23K26/08;B23K26/32;B23K26/70 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种利用超快激光进行透明材料三维结构的加工装置，包括飞秒激光器、衰减片、缩束镜、声光调制器、扩束镜、反射镜、显微物镜、电脑以及供待加工的透明材料放置的三维平移台。本发明对飞秒激光的整形通过调节飞秒激光器的压缩器而实现，整形之后的激光脉冲在时域上被展宽，增长了激光的脉冲宽度，将整形后的激光通过低数值孔径物镜聚焦至透明材料内部，即可在焦点处得到三维对称性良好的近球形改性区域，提高了低数值孔径物镜聚焦条件下的加工精度。本发明使得“大深度”与“高精度”可同时实现，在激光对透明材料改性之后，通过化学腐蚀方法可高保真的将激光改性区域去除，使用该方法可进行大尺寸的复杂精细三维结构的加工。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 激光 进行 透明 材料 三维 结构 加工 装置 方法 | ||
【主权项】：
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