[发明专利]一种金属碳化合物涂层及其制备方法有效
| 申请号： | 201910093291.6 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN109735804B | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 朱旺;谭振宇;杨丽;周益春 | 申请（专利权）人： | 湘潭大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 11489 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 陈超 |
| 地址： | 411100 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属碳化合物涂层及其制备方法，本方法采用磁控溅射工艺，以Ta | ||
| 搜索关键词： | 单质 金属碳化合物 钨基合金 制备 磁控溅射工艺 耐高温性能 表面硬度 合金基体 基体表面 固溶体 靶材 耐磨 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种合金表面的金属碳化物涂层，其特征在于，所述金属碳化物涂层包括合金基体以及涂层；所述金属碳化物为Ta
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