[发明专利]光检测器和用于检测光的方法有效
| 申请号： | 201910094123.9 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN110095186B | 公开（公告）日： | 2020-06-19 |
| 发明（设计）人： | 拉斐尔·马修斯;塔尔·库兹尼斯;帕维尔·玛格丽斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01J1/44 | 分类号： | G01J1/44;G01J1/42 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 以色列*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法和一种光检测器，所述光检测器包括(i)光子到电子转换器，将光子转换成一个或多个光电子；(ii)光电子检测电路，包括光电子感测区域；(iii)腔室；(iv)偏置电路，被配置为将一个或多个偏置信号供应到所述光检测器以用于使所述一个或多个光电子的在所述腔室内并朝向所述光电子感测区域的传播加速；(v)光电子操纵器，被配置为以多个操作模式中的选定操作模式操作，所述操作模式的阻挡程度不同；(vi)控制器，被配置为基于关于以下至少一个的反馈而控制所述光电子操纵器：(a)所述光子，(b)所述一个或多个光电子，(c)先前光子，和(d)先前一个或多个光电子。 | ||
| 搜索关键词： | 检测器 用于 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种光检测器，包括：光子到电子转换器，被配置为将撞击在所述光子到电子转换器上的光子转换成一个或多个光电子；光电子检测电路，包括光电子感测区域；腔室；偏置电路，被配置为将一个或多个偏置信号供应到所述光检测器以用于使所述一个或多个光电子的在所述腔室内朝向所述光电子感测区域的传播加速；光电子操纵器，被配置为以多个操作模式的选定操作模式操作，所述多个操作模式的阻挡所述一个或多个光电子到达所述光电子感测区域的程度彼此不同；和控制器，被配置为基于关于以下至少一者的来自传感器的反馈而控制由所述光电子操纵器的阻挡所述一个或多个光电子的所述程度：(a)所述光子，(b)所述一个或多个光电子，(c)先前撞击在所述光子到电子转换器上的先前光子，和(d)先前由所述光子到电子转换器输出的先前一个或多个光电子。
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