[发明专利]一种电介质薄膜电学性质测量系统有效
| 申请号： | 201910094588.4 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN109709151B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 宋长青;王志亮;尹海宏 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 226019 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种电介质薄膜电学性质测量系统，包括探针台、电学测试装置和计算机，电学测试装置中的前置跨阻放大器包括有两个CMOS运算放大器、四个MOS场效应管、四个CMOS反相器、六个电阻、两个电容。电介质薄膜的漏电流大小通常介于数十fA至数十pA，通过合理选择外围电阻，前置跨阻放大器的输出电压可达到数μV至几十μV量级，该输出电压信号再经过中间电压放大器、后端电压放大器依次放大，可被电流测量装置准确测量出来，最终送至计算机进行处理、显示。利用本发明独有的处理方式，有效地从信号源中过滤掉了运算放大器自身带来的干扰信号。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电介质 薄膜 电学 性质 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种电介质薄膜电学性质测量系统，其特征在于：测量系统包括探针台、电学测试装置和计算机。
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