[发明专利]一种纳米级绝缘薄膜电压-电流特性测量系统有效
| 申请号： | 201910094590.1 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN109781788B | 公开（公告）日： | 2021-02-26 |
| 发明（设计）人： | 王志亮;宋长青;尹海宏;瞿慧雯;仓定勇 | 申请（专利权）人： | 南通大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 陈忠辉 |
| 地址： | 226019 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种纳米级绝缘薄膜电压‑电流特性测量系统，其中导电测试探针由金属探针针套、铜质丝线、微铟球构成，金属探针针套的内部孔径与铜质丝线的直径相匹配，使得铜质丝线恰好穿过金属探针针套而不晃动；铜质丝线的长度大于金属探针针套的长度，使得铜质丝线穿过金属探针针套仍然有一部分露出金属探针针套外；铜质丝线穿过金属探针针套，金属探针针套的尾端使用机械夹具施压后压扁使得铜质丝线固定在金属探针针套中不会滑出；铜质丝线露出金属探针针套的一端，焊有微铟球，在测试时，微铟球与纳米薄膜的电极相接触；导电测试探针的一端以倾斜方式固定在探针夹持器中，露出金属探针针套外的铜质丝线在微铟球的重力作用下能保持形状不下弯。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 绝缘 薄膜 电压 电流 特性 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种纳米级绝缘薄膜电压‑电流特性测量系统，其特征在于：测量系统包括探针台、电学测试装置和计算机；所述探针台用于放置待测样品；纳米薄膜是指由厚度为纳米数量级(1～100nm)的附着于基体所形成的薄膜材料。
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