[发明专利]具有涂覆层的金刚石合成用衬底及金刚石合成系统在审
| 申请号： | 201910095772.0 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109913947A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 黄翀;彭国令 | 申请（专利权）人： | 长沙新材料产业研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/18 |
| 代理公司： | 武汉智汇为专利代理事务所(普通合伙) 42235 | 代理人： | 李恭渝 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了具有涂覆层的金刚石合成用衬底及金刚石合成系统，用于放置金刚石合成用的籽晶，至少包含一个样品安装表面，样品安装表面上有多个籽晶安装槽，样品安装表面的粗糙度大于籽晶安装槽底面的粗糙度。针对现有技术中金刚石批量生产过程中，金刚石固定及多晶生长的问题，在衬底表面均匀的镀覆一层薄膜，使镀层表面粗糙化，以达到固定金刚石籽晶、批量固定以及抑制多晶生长的目的。还提供一种金刚石合成系统，包括：微波源；微波耦合系统；带有进气系统、出气系统的反应腔；与反应腔连接的真空系统；位于反应腔内的衬底，衬底至少包含一个样品安装表面，样品安装表面上有多个籽晶安装槽，样品安装表面的粗糙度大于籽晶安装槽底面的粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 样品安装 籽晶 安装槽 粗糙度 衬底 金刚石合成系统 金刚石合成 反应腔 金刚石 涂覆层 多晶 批量生产过程 固定金刚石 衬底表面 出气系统 镀层表面 进气系统 微波耦合 真空系统 生长 粗糙化 微波源 镀覆 薄膜 | ||
【主权项】：
1.一种具有涂覆层的金刚石合成用衬底，用于放置金刚石合成用的籽晶，其特征在于：至少包含一个样品安装表面，样品安装表面上有多个籽晶安装槽，样品安装表面的粗糙度大于籽晶安装槽底面的粗糙度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长沙新材料产业研究院有限公司，未经长沙新材料产业研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910095772.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
