[发明专利]炉管机台和洁净室在审
| 申请号： | 201910096765.2 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109629006A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 潘国卫;宋海;李召峰;王秉国 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B33/00 | 分类号： | C30B33/00;C23C16/458 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 董琳 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种炉管机台和洁净室，所述炉管机台包括：处理装置，包括反应腔室，所述反应腔室用于容纳垂直放置的晶舟；装载装置，与所述处理装置的一侧固定连接；控制装置，与所述处理装置的另一侧固定连接；所述装载装置和控制装置的底面齐平，且高于所述处理装置的底面。所述炉管机台对于安装空间的高度要求降低。 | ||
| 搜索关键词： | 处理装置 炉管机台 反应腔室 控制装置 装载装置 洁净室 安装空间 垂直放置 底面齐平 底面 晶舟 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种炉管机台，其特征在于，包括：处理装置，包括反应腔室，所述反应腔室用于容纳垂直放置的晶舟；装载装置，与所述处理装置的一侧固定连接；控制装置，与所述处理装置的另一侧固定连接；所述装载装置和控制装置的底面齐平，且高于所述处理装置的底面。
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