[发明专利]数据处理方法、数据处理装置及记录介质有效
| 申请号： | 201910097340.3 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN110134536B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 犹原英司;山本麻友美 | 申请（专利权）人： | 株式会社斯库林集团 |
| 主分类号： | G06F11/00 | 分类号： | G06F11/00;G06F11/26 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 向勇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够准确地判别在基板处理装置中基板是否被正常处理的数据处理方法。数据处理方法包括：期间设定步骤(S102)，对由基板处理装置(20)得到的时序数据(7)求取上升期间、稳定期间及下降期间；以及评价值计算步骤(S103)，求取上升期间的评价值、稳定期间的评价值及下降期间的评价值作为时序数据(7)的评价值。在期间设定步骤中，求取从控制信号变化起至时序数据(7)收敛至包括目标水平的第一范围内的期间作为上升期间，求取从控制信号变化起至时序数据(7)收敛至包括初始水平的第二范围内的期间作为下降期间，求取上升期间与下降期间之间的期间作为稳定期间。 | ||
| 搜索关键词： | 数据处理 方法 装置 记录 介质 | ||
【主权项】：
1.一种数据处理方法，处理由基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：期间设定步骤，对所述时序数据求取从初始水平变为目标水平的上升期间、保持所述目标水平的稳定期间、以及从所述目标水平变为所述初始水平的下降期间，以及评价值计算步骤，求取所述时序数据的评价值；在所述评价值计算步骤中，求取所述上升期间的评价值、所述稳定期间的评价值、以及所述下降期间的评价值作为所述时序数据的评价值。
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