[发明专利]DOE衍射角的测量装置及其测量方法有效
| 申请号： | 201910097737.2 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109883655B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 何兵;刘美忠;柏刚;杨依枫;邹星星;尤阳 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种DOE衍射角测量装置，包括单频激光器模块、供待测DOE放置的角度旋转台、傅里叶透镜和光斑显示模块；该光斑显示模块由图像探测器和与该图像探测器相连的数据处理设备组成。本发明通过旋转角度旋转台使待测衍射光束光斑在旋转后重新回到原位，可实现DOE各衍射光束衍射角测量，用于弥补现存DOE衍射角直接测量方法的装置结构复杂、测量系统位置精度要求高、数据处理繁杂等不足，解决分光型DOE衍射角直接测量读取问题。 | ||
| 搜索关键词： | doe 衍射 测量 装置 及其 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种DOE衍射角测量装置，其特征在于，包括单频激光器模块(1)、供待测DOE(4)放置的角度旋转台(3)、傅里叶透镜(6)和光斑显示模块；该光斑显示模块由图像探测器(7)和与该图像探测器(7)相连的数据处理设备(8)组成；沿所述的单频激光器模块(1)的输出光方向依次放置有角度旋转台(3)、傅里叶透镜(6)和图像探测器(7)，所述的单频激光器模块(1)、待测DOE(4)、傅里叶透镜(6)、图像探测器(7)共光轴，所述的傅里叶透镜(6)放置在距离待测DOE(4)后方，且保证衍射光束满足傅里叶透镜(6)近轴条件，所述的图像探测器(7)放置在傅里叶透镜(6)后方，且能将待测光斑囊括在视野内位置。
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