[发明专利]SEM图像轮廓线图的修正方法

摘要

本发明公开了一种SEM图像轮廓线图的修正方法，包括步骤：步骤一、提取SEM图像的轮廓线图；进行线头的选定和连线范围的选定。步骤二、当连线范围内存在两个相邻的线头时，对相邻的两个线头进行连接并形成第一连线，如果第一连线的长度小于第一值，则将第一连线添加到轮廓线图中进行修正。步骤三、在连线范围内，计算各线头的连线方案和对应的适配指数。步骤四、根据对应的连线方案的适配指数、连线长度和连线端点进行各线头的最适配连线方案的筛选。步骤五、去除部分线头的最适配连线方案对应的连线，将剩余的线头的最适配连线方案对应的连线添加到轮廓线图中进行修正。本发明能对提取的SEM图像轮廓线图中的轮廓线的缺失进行修正。

主权项

1.一种SEM图像轮廓线图的修正方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、提取SEM图像的轮廓线图；所述轮廓线图中包括多条连续的轮廓线；在所述轮廓线图中进行线头的选定和连线范围的选定；所述连线范围内的各条所述轮廓线都用特征点的连线表示，各所述特征点从对应的所述轮廓线的像素点中选出，各条所述轮廓线对应的所述特征点都分在同一组；步骤二、当所述连线范围内存在两个相邻的所述线头时，对所述连线范围内对应的相邻的两个所述线头进行连接并形成第一连线，如果第一连线的长度小于第一值，则直接将所述第一连线添加到所述轮廓线图中实现对所述轮廓线图的修正；如果所述第一连线的长度大于第一值，则进行后续步骤三；步骤三、在所述连线范围内，计算各所述线头的连线方案，各所述线头的连线方案包括对应的所述线头和不同组的各所述特征点之间形成的连线，计算各所述线头的连线方案的适配指数；步骤四、根据对应的所述连线方案的适配指数、连线长度和连线端点进行各所述线头的最适配连线方案的筛选，统计出具有最适配连线方案的所述线头及所述线头对应的最适配连线方案；步骤五、在筛选出的对应的各所述线头的最适配连线方案中去除部分所述线头的最适配连线方案对应的连线，将剩余的所述线头的最适配连线方案对应的连线添加到所述轮廓线图中实现对所述轮廓线图的修正。