[发明专利]一种避免硅芯转型的母料微量掺杂方法在审
申请号: | 201910098832.4 | 申请日: | 2019-01-31 |
公开(公告)号: | CN109554760A | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 牛晓玉;甘居富;游书华;彭中;王亚萍 | 申请(专利权)人: | 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 |
主分类号: | C30B31/04 | 分类号: | C30B31/04;C30B29/06 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王学强;罗满 |
地址: | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种避免硅芯转型的母料微量掺杂方法,在装炉前将混合溶液涂至母料棒顶端的表面;所述混合溶液中包括五氧化二磷和乙醇。本发明的避免硅芯转型的母料微量掺杂方法采用了杂质补偿,将长时间化料、引晶时挥发的杂质进行人为干预微量掺杂;把配制好的微量五氧化二磷与酒精混合溶液,均匀喷涂至母料顶端,待酒精完全挥发后,装入炉内进行拉制。通过磷元素母料顶端微量掺杂补偿,硅芯质量可实现电阻率分布更加均匀,避免出现P型、PN型或者混型的高阻硅芯。 | ||
搜索关键词: | 母料 微量掺杂 硅芯 转型 五氧化二磷 挥发 酒精混合溶液 电阻率分布 混合溶液中 混合溶液 均匀喷涂 人为干预 杂质补偿 拉制 磷元素 时间化 高阻 混型 炉内 乙醇 引晶 装炉 装入 酒精 配制 | ||
【主权项】:
1.一种避免硅芯转型的母料微量掺杂方法,其特征在于:在装炉前将混合溶液涂至母料棒顶端的表面;所述混合溶液中包括五氧化二磷和乙醇。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于内蒙古通威高纯晶硅有限公司,未经内蒙古通威高纯晶硅有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201910098832.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。