[发明专利]一种避免硅芯转型的母料微量掺杂方法在审

专利信息
申请号: 201910098832.4 申请日: 2019-01-31
公开(公告)号: CN109554760A 公开(公告)日: 2019-04-02
发明(设计)人: 牛晓玉;甘居富;游书华;彭中;王亚萍 申请(专利权)人: 内蒙古通威高纯晶硅有限公司
主分类号: C30B31/04 分类号: C30B31/04;C30B29/06
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 王学强;罗满
地址: 014000 内蒙古自治区*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要: 发明公开了一种避免硅芯转型的母料微量掺杂方法,在装炉前将混合溶液涂至母料棒顶端的表面;所述混合溶液中包括五氧化二磷和乙醇。本发明的避免硅芯转型的母料微量掺杂方法采用了杂质补偿,将长时间化料、引晶时挥发的杂质进行人为干预微量掺杂;把配制好的微量五氧化二磷与酒精混合溶液,均匀喷涂至母料顶端,待酒精完全挥发后,装入炉内进行拉制。通过磷元素母料顶端微量掺杂补偿,硅芯质量可实现电阻率分布更加均匀,避免出现P型、PN型或者混型的高阻硅芯。
搜索关键词: 母料 微量掺杂 硅芯 转型 五氧化二磷 挥发 酒精混合溶液 电阻率分布 混合溶液中 混合溶液 均匀喷涂 人为干预 杂质补偿 拉制 磷元素 时间化 高阻 混型 炉内 乙醇 引晶 装炉 装入 酒精 配制
【主权项】:
1.一种避免硅芯转型的母料微量掺杂方法,其特征在于:在装炉前将混合溶液涂至母料棒顶端的表面;所述混合溶液中包括五氧化二磷和乙醇。
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