[发明专利]金属掩膜装置在审
| 申请号： | 201910099209.0 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109735801A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 姜亮 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提出了一种金属掩膜装置，包括外框，所述外框包括中空区；位于所述中空区内的金属掩膜层，包括：金属图案层，包括至少一第一开口，所述第一开口的形状与目标基板中像素单元的形状相同；以及位于所述金属图案层上的隔热层；当对所述目标基板进行加工时，所述金属图案层靠近所述目标基板，所述隔热层远离所述目标基板。本申请通过在现有金属掩摸装置的表面设置一隔热层，避免金属掩摸装置因受热膨胀而导致目标显示面板混色。 | ||
| 搜索关键词： | 目标基板 金属图案层 隔热层 金属掩膜 外框 开口 金属 金属掩膜层 表面设置 目标显示 受热膨胀 像素单元 中空区 中空 混色 申请 加工 | ||
【主权项】：
1.一种金属掩膜装置，其特征在于，包括：外框，所述外框包括中空区；位于所述中空区内的金属掩膜层，包括：金属图案层，包括至少一第一开口，所述第一开口的形状与目标基板中像素单元的形状相同；以及位于所述金属图案层上的隔热层；当对所述目标基板进行加工时，所述金属图案层靠近所述目标基板，所述隔热层远离所述目标基板。
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