[发明专利]一种多晶硅中磷含量的检测方法在审
| 申请号： | 201910099717.9 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN109709203A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | 曾一文;甘居富;游书华;彭中;王亚萍 | 申请（专利权）人： | 内蒙古通威高纯晶硅有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N1/44 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王学强;罗满 |
| 地址： | 014000 内蒙古自治区*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅中磷含量的检测方法，它是采用电感耦合等离子体质谱ICP‑MS方法检测多晶硅中的磷含量，具体包括以下步骤：(1)样品处理：取3g多晶硅样品用氢氟酸和硝酸常温消解后，将酸蒸发掉，然后用3％硝酸定容到5g；(2)启动ICP‑MS设备进入氨模式进行调试，调试结束后将步骤(1)处理好的样品直接放入设备中进行测试得到结果。本发明方法解决了传统ICP‑MS不能稳定进行多晶硅中磷含量测试的问题，并且相对于现有技术中的低温红外测试方法，本发明方法成本更低，且操作简便，分析效率高，设备稳定，维护成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅 硝酸 检测 调试 电感耦合等离子体质谱 多晶硅样品 放入设备 分析效率 含量测试 红外测试 设备稳定 样品处理 氢氟酸 定容 消解 蒸发 测试 维护 | ||
【主权项】：
1.一种多晶硅中磷含量的检测方法，其特征在于：采用电感耦合等离子体质谱ICP‑MS方法检测多晶硅中的磷含量。
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