[发明专利]微粒检测器在审

专利信息
申请号: 201910102840.1 申请日: 2019-02-01
公开(公告)号: CN110132807A 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 菅野京一;奥村英正;水野和幸 申请(专利权)人: 日本碍子株式会社
主分类号: G01N15/06 分类号: G01N15/06
代理公司: 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 代理人: 王轶;郑雪娜
地址: 日本国*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 提供一种微粒检测器(10),其具备:壳体(22);电荷产生部(30),其将通过放电而产生的电荷(28)附加给被导入至气体流路(24)内的气体中的微粒(26),使该微粒成为带电微粒(P);剩余电荷除去部(40),其对剩余电荷进行捕集;捕集部(50),其对带电微粒(P)进行捕集;以及个数检测部(60),其基于根据剩余电荷而发生变化的第一电流(I1)来对根据带电微粒(P)而发生变化的第二电流(I2)进行修正,并基于修正后的第二电流(I2)来检测微粒数。
搜索关键词: 带电微粒 剩余电荷 微粒检测器 捕集 修正 电荷产生部 个数检测 气体流路 电荷 捕集部 除去部 微粒数 放电 壳体 检测
【主权项】:
1.一种微粒检测器,其用于检测气体中的微粒,所述微粒检测器的特征在于,具备:壳体,该壳体具有供所述气体通过的气体流路;电荷产生部,该电荷产生部将通过放电而产生的电荷附加给被导入至所述气体流路内的所述气体中的微粒,使所述微粒成为带电微粒;第一捕集部,该第一捕集部在所述气体流路内被设置于比所述电荷产生部更靠向所述气体的气体流的下游侧的位置,并对未被附加在所述微粒上的剩余电荷进行捕集;第二捕集部,该第二捕集部在所述气体流路内被设置于比所述第一捕集部更靠向所述气体的气体流的下游侧的位置,并对所述带电微粒进行捕集;以及检测部,该检测部基于下述的第一物理量,来对下述的第二物理量进行修正,并基于修正后的所述第二物理量,来检测所述微粒的量,即,所述第一物理量是根据所述第一捕集部所捕集到的所述剩余电荷而发生变化的物理量,所述第二物理量是根据所述第二捕集部所捕集到的所述带电微粒而发生变化的物理量。
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