[发明专利]一种平面结构的电场传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201910102999.3 | 申请日： | 2019-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN109959826B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 文玉梅;李平;卞雷祥;郑文静 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 俞磊 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种平面结构的电场传感器及其制备方法，电场传感器包括屏蔽盒，在所述屏蔽盒内设置有不导电衬底和非线性介电材料，在非线性介电材料表面设置有若干叉指电极；在相邻的叉指电极的中间位置设置有传感电极，传感电极通过导线与位于屏蔽盒外部的电荷收集器连接。其制备方法如下：1)采用绝缘材料制作不导电衬底，并在其表面贴合非线性介电材料；2)在所述非线性介电材料表面设置若干组叉指电极；3)在相邻的叉指电极间设置传感电极，采用屏蔽盒将所述的不导电衬底、非线性介电材料、叉指电极、传感电极封装，将传感电极通过导线与位于屏蔽盒外部的电荷收集器连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平面 结构 电场 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种平面结构的电场传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)采用绝缘材料制作不导电衬底(1‑1)，并在所述不导电衬底(1‑1)上贴合一层非线性介电材料(1‑2)；2)根据预先确定的叉指电极参数，在所述非线性介电材料(1‑2)表面设置至少若干组第一电极导体(1‑3)和第二电极导体(1‑5)，并在所述第一电极导体(1‑3)和第二电极导体(1‑5)上涂覆绝缘层或沉金处理，形成保护层(1‑4)；所述第一电极导体(1‑3)、第二电极导体(1‑5)和保护层(1‑4)组成叉指电极；3)在相邻的叉指电极间设置传感电极(1‑6)，采用屏蔽盒(1‑9)将所述的不导电衬底(1‑1)、非线性介电材料(1‑2)、叉指电极、传感电极(1‑6)封装，将传感电极(1‑6)通过导线(1‑7)与位于屏蔽盒(1‑9)外部的电荷收集器(1‑8)连接。
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