[发明专利]基于MEMS技术的电容式声压水听器及其制备方法在审
| 申请号： | 201910105591.1 | 申请日： | 2019-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN109855721A | 公开（公告）日： | 2019-06-07 |
| 发明（设计）人： | 王任鑫;张鹏飞;白建新;王卫东;张文栋 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01H11/06 | 分类号： | G01H11/06;B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111 | 代理人： | 骆洋 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明为一种基于MEMS技术的电容式声压水听器及其制备方法，水听器包括玻璃衬底、环状硅支柱和二氧化硅振动薄膜，二氧化硅振动薄膜、环状硅支柱以及玻璃衬底之间合围形成电容空腔，玻璃衬底的顶面设置有圆片状金属铝下电极，二氧化硅振动薄膜的顶面设置有圆片状金属铝上电极，二氧化硅振动薄膜上围绕圆片状金属铝上电极均布有四个与电容空腔相通的圆形注油孔，电容空腔通过圆形注油孔注满有硅油。本发明水听器尺寸小、灵敏度高、耐静水压能力强，并且工艺流程简洁明了，可以批量生产且成本低廉。本发明水听器可以实现频响范围在5Hz‑2kHz，耐静水压达到20MPa以上以及灵敏度在‑160dB以上的水下声压测量。 | ||
| 搜索关键词： | 二氧化硅 振动薄膜 金属铝 水听器 圆片状 电容 衬底 声压水听器 灵敏度 电极 电容式 环状硅 静水压 注油孔 玻璃 顶面 空腔 制备 空腔相通 声压测量 合围 工艺流程 能力强 下电极 硅油 均布 频响 注满 生产 | ||
【主权项】：
1.一种基于MEMS技术的电容式声压水听器，其特征在于：包括玻璃衬底，玻璃衬底的顶面的中心处设置有圆片状金属铝下电极；玻璃衬底的顶面上还设置有环状硅支柱，环状硅支柱的内环为圆环状且其直径是圆片状金属铝下电极直径的二倍，环状硅支柱的高度高于圆片状金属铝下电极的高度；环状硅支柱的顶部设置有二氧化硅振动薄膜，二氧化硅振动薄膜的顶面的中心处设置有圆片状金属铝上电极，圆片状金属铝上电极的直径和圆片状金属铝下电极的直径相同；二氧化硅振动薄膜、环状硅支柱以及玻璃衬底之间合围形成圆柱形的电容空腔，二氧化硅振动薄膜上围绕圆片状金属铝上电极均布有四个与电容空腔相通的圆形注油孔，电容空腔通过圆形注油孔注满有硅油；玻璃衬底、圆片状金属铝下电极、环状硅支柱、二氧化硅振动薄膜及圆片状金属铝上电极都位于同一轴线上。
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