[发明专利]基于类金字塔型的显指可调的单芯片白光LED及其制备方法有效
申请号: | 201910106244.0 | 申请日: | 2019-02-01 |
公开(公告)号: | CN109841712B | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 赵捷;魏同波;魏学成;王军喜;李晋闽 | 申请(专利权)人: | 中国科学院半导体研究所 |
主分类号: | H01L33/06 | 分类号: | H01L33/06;H01L33/22;H01L33/32;H01L33/50;H01L33/00 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 李坤 |
地址: | 100083 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
一种基于类金字塔型的显指可调的单芯片白光LED及其制备方法,所述LED由下至上包括:衬底;低温成核层,位于衬底上;u‑GaN层,位于低温成核层上;第一n‑GaN层,位于u‑GaN层上;SiO |
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搜索关键词: | 基于 金字塔 可调 芯片 白光 led 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种基于类金字塔型的显指可调的单芯片白光LED,包括:衬底;低温成核层,位于所述衬底上;非掺杂GaN层,位于所述低温成核层上;第一n‑GaN层,位于所述非掺杂GaN层上;SiO2层,位于所述第一n‑GaN层上,含有n个微/纳米孔洞;3D类金字塔型n‑GaN结构,位于所述SiO2层的微/纳米孔洞上;全结构,位于所述3D类金字塔型n‑GaN结构以及经SiO2刻蚀后所裸露出的第一n‑GaN层之上;以及混合量子点,填充于所述3D类金字塔型结构的间隙之间。
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