[发明专利]前开式晶圆传送盒清洁装置及前开式晶圆传送盒清洁方法在审
| 申请号： | 201910107419.X | 申请日： | 2019-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN110125065A | 公开（公告）日： | 2019-08-16 |
| 发明（设计）人： | 朴永秀;权五亨;郑同根;许东根 | 申请（专利权）人： | 系统科技公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/00;B08B3/08;B08B13/00;F26B21/00;A61L2/10 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 孙昌浩;李盛泉 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种如下的前开式晶圆传送盒清洁装置及前开式晶圆传送盒清洁方法，能够提高前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖的清洁及干燥效率。为此，本发明的前开式晶圆传送盒清洁装置用于清洁包括前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖的前开式晶圆传送盒，并包括：装载及卸载部，用于搬入及搬出前开式晶圆传送盒；等待部，配备于装载及卸载部的一侧，并使前开式晶圆传送盒主体与前开式晶圆传送盒盖相互分离或结合；清洁腔室，利用蒸汽清洁前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖；以及机器人，用于在等待部与清洁腔室之间搬送前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖。 | ||
| 搜索关键词： | 晶圆传送盒 前开式 清洁装置 清洁 清洁腔室 卸载部 装载 干燥效率 蒸汽清洁 搬出 搬入 机器人 配备 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洁前开式晶圆传送盒的前开式晶圆传送盒清洁装置，所述前开式晶圆传送盒包括前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖，所述前开式晶圆传送盒清洁装置的特征在于，包括：装载及卸载部，用于搬入及搬出所述前开式晶圆传送盒；等待部，配备于所述装载及卸载部的一侧，并使所述前开式晶圆传送盒主体与前开式晶圆传送盒盖相互分离或结合；清洁腔室，利用蒸汽清洁所述前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖；以及机器人，用于在所述等待部与所述清洁腔室之间搬送所述前开式晶圆传送盒主体及前开式晶圆传送盒盖。
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