[发明专利]在平面中可移动的、具有压电驱动的微机电微操纵装置

摘要

本公开的实施例涉及一种在平面中可移动的、具有压电驱动的微机电微操纵装置。MEMS操纵装置具有承载相应的相互面对的夹持元件的第一操纵臂和第二操纵臂。至少第一操纵臂由驱动臂和通过铰接结构被铰链连接在一起的铰接臂形成。第一驱动臂包括第一梁元件和在第一梁元件上的第一压电区域。第一铰接结构包括在厚度方向上不可变形的第一连接元件以及被插入在第一驱动臂、第一铰接臂和第一连接元件之间的第一铰链结构。

主权项

1.一种MEMS操纵装置，包括：基板；操纵结构，在所述基板上，并且所述操纵结构包括由结构层形成的本体、在所述结构层上的支撑层、以及在所述支撑层上的薄膜压电层，所述操纵结构包括：第一操纵臂；以及第一夹持元件，所述第一夹持元件由所述第一操纵臂承载；其中，所述第一操纵臂包括第一驱动臂和第一铰接臂，所述第一驱动臂和所述第一铰接臂均具有相应的第一端部和第二端部，所述第一驱动臂的所述第一端部被连接至所述基板，并且所述第一驱动臂的所述第二端部通过第一铰接结构被铰接至所述第一铰接臂的所述第一端部；其中，所述第一驱动臂包括第一梁元件和第一压电区域，所述第一梁元件由所述支撑层形成，所述第一压电区域由所述薄膜压电层形成，并且所述第一压电区域与所述第一梁元件相关联，所述第一梁元件具有在延伸平面中延伸的主延伸、以及在与所述延伸平面垂直的厚度平面中延伸的厚度，所述第一梁元件在所述厚度平面中的所述厚度小于所述主延伸在所述延伸平面中的延伸，所述第一驱动臂的所述第一端部和所述第二端部包括所述支撑层的部分和所述结构层的部分；以及其中，所述第一铰接结构包括第一连接元件和第一铰链结构，所述第一铰链结构被插入在所述第一驱动臂、所述第一铰接臂和所述第一连接元件之间。