[发明专利]一种新型异质结光子型红外探测器及制备方法及应用在审

专利信息
申请号: 201910108018.6 申请日: 2019-02-02
公开(公告)号: CN109873047A 公开(公告)日: 2019-06-11
发明(设计)人: 吴惠桢;朱家旗;徐翰纶;马嵩松 申请(专利权)人: 浙江大学
主分类号: H01L31/109 分类号: H01L31/109;H01L31/0336;H01L31/18
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 李亦慈;唐银益
地址: 310058 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种新型的异质结光子型红外探测器及制备方法及应用,探测器包括从下到上的基底层、异质结层和最上层位于两侧的两个电极层,异质结层是由IV‑VI/II‑VI族化合物半导体构成的PbTe(SnTe)/CdTe、PbTe(SnTe)/ZnTe或PbSe(SnSe)/CdSe、PbSe(SnSe)/ZnSe异质结材料研制的。本发明以PbTe/CdTe等异质结界面二维电子气结构材料为基础,制备了一种FET结构光子型红外探测器。探测器的光响应来源于PbTe的本征响应,即光谱响应波段为1.2–4.0μm。得益于二维电子气高迁移率的特点,探测器的响应时间短,小于1μs。探测器的探测率高,在2μm处达到了3×1010Jones,远高于热探测器和PbTe、PbSe单晶薄膜红外探测器。该探测器在红外焦平面阵列成像领域具有应用前景。
搜索关键词: 探测器 红外探测器 光子 制备 二维电子气 异质结层 异质结 红外焦平面阵列 应用 化合物半导体 异质结材料 异质结界面 成像领域 单晶薄膜 高迁移率 光谱响应 结构材料 热探测器 响应 电极层 光响应 基底层 探测率 最上层 波段 本征
【主权项】:
1.一种新型的异质结光子型红外探测器,其特征在于,所述的探测器包括从下到上的基底层、异质结层和最上层位于两侧的两个电极层。
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