[发明专利]一种新型异质结光子型红外探测器及制备方法及应用在审
申请号: | 201910108018.6 | 申请日: | 2019-02-02 |
公开(公告)号: | CN109873047A | 公开(公告)日: | 2019-06-11 |
发明(设计)人: | 吴惠桢;朱家旗;徐翰纶;马嵩松 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | H01L31/109 | 分类号: | H01L31/109;H01L31/0336;H01L31/18 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 李亦慈;唐银益 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型的异质结光子型红外探测器及制备方法及应用,探测器包括从下到上的基底层、异质结层和最上层位于两侧的两个电极层,异质结层是由IV‑VI/II‑VI族化合物半导体构成的PbTe(SnTe)/CdTe、PbTe(SnTe)/ZnTe或PbSe(SnSe)/CdSe、PbSe(SnSe)/ZnSe异质结材料研制的。本发明以PbTe/CdTe等异质结界面二维电子气结构材料为基础,制备了一种FET结构光子型红外探测器。探测器的光响应来源于PbTe的本征响应,即光谱响应波段为1.2–4.0μm。得益于二维电子气高迁移率的特点,探测器的响应时间短,小于1μs。探测器的探测率高,在2μm处达到了3×1010Jones,远高于热探测器和PbTe、PbSe单晶薄膜红外探测器。该探测器在红外焦平面阵列成像领域具有应用前景。 | ||
搜索关键词: | 探测器 红外探测器 光子 制备 二维电子气 异质结层 异质结 红外焦平面阵列 应用 化合物半导体 异质结材料 异质结界面 成像领域 单晶薄膜 高迁移率 光谱响应 结构材料 热探测器 响应 电极层 光响应 基底层 探测率 最上层 波段 本征 | ||
【主权项】:
1.一种新型的异质结光子型红外探测器,其特征在于,所述的探测器包括从下到上的基底层、异质结层和最上层位于两侧的两个电极层。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
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H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的